제품소개

CERAMIC ESC

Dielectric Ceramic
Color Black
Chucking Force ＞ 50gf/cm2 @ Si-wafer
Application Semiconductor
Characteristic Columb 대비 J-R 힘으로 높은 정전력 구현
⠀⠀⠀ 저전압 영역대에서 사용 가능
⠀⠀⠀ 고온 환경에서 사용 가능
⠀⠀⠀ 개발 및 시제품 최단 납기 가능