사업분야
정전척 Electronic Static Chuck (ESC)
정전력을 이용하여 기판이나 GLASS등을 흡착하는 핵심 부품을 연구 및 개발해 나가고 있습니다.
최고의 글로벌 기술 경쟁력으로 앞장 서겠습니다.
- 차세대 DISPLAY 산업
노트북, 대형 커브드 차량용 디스플레이, VR 고글 등 터치 Panel에 필요 분야
- 반도체 산업
전력반도체 (SiC), 발광 다이오드 (LED), 반도체 (실리콘), 화합물 반도체 등 기판 흡착 분야
- 2차 전지 산업
소형 전지, 자동차 전지, ESS 전지 분야
- 응용 가능 장비
- 노광(Exposure)
- 식각(Etching)
- 증착(Deposition)
- 이온 주입(Ion Implantation)
- 합착(Lamination)
- 검사(Inspection)
- 인쇄(Print)
- 자동화(Automation)
- 반송 장비 (Conveyance equipment)