| Dielectric |
Polymer |
| Color |
Transparent |
| Chucking Force |
20~25 gf/cm2 @ Glass |
| Application |
Display & Semiconductor |
| Characteristic |
투과율이 뛰어난 정전척 ( 투과율 80%↑) |
| ⠀⠀⠀ |
전 / 후방 Vision, Alignment & Defect 검출 용이 |
| ⠀⠀⠀ |
저전압 대비 높은 정전력 구현 가능 |
| ⠀⠀⠀ |
De-Chcuk 시간 단축 가능 |
| ⠀⠀⠀ |
ESC Body 경량화 가능 |
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