제품소개

CUSHION RB (RUBBER) ESC

Dielectric Rubber
Color Selectable
Chucking Force ＞ 15gf/cm2 @ Glass
Application Display & Semiconductor
Characteristic 이물 찍힘에 강한 정전척
⠀⠀ 유전체 경도 및 두께 조절 가능 (Cushion 기능 적용 가능)
⠀⠀ 장비 가동률 증가 (반영구)
⠀⠀ 높은 정전력 구현 가능